外商投资企业审批程序较为严格和复杂。首先，外商投资项目要经过对项目建议书的审批（外资企业无此审批）、可行性研究报告的审批和合同、章程的审批三个步骤方才完成。
项目建议书的审批，由拟设立外商投资企业的中方向项目审批机关提交项目建议书和其他必要文件。经审批机关批准后，方可申请下一步的审批。项目建议书应包含合营中方基本情况、合营目的、合营外方基本情况、合营范围和规模、投资总额、投资方式和资金来源、生产技术和主要设备、主要原材料、水、电、气运输等需要量和来源、人员的数量、构成和来源、经济效益等主要内容。合营中方除向审批机关提交项目建议书外，还要根据项目的规模及特点向审批机关提交项目各方的合作意向书、外商资信情况调查表、审批机关要求提交的其他文件。
可行性研究报告的审批，项目建议书经审批机关批准后，由项目各方在项目建议书的基础上，共同编制项目的可行性研究报告，报审批机关审批。生产性项目的可行性报告主要应包括基本概况、市场分析、建设条件、技术、设备和工程方案、环境保护、企业组织与人员培训、投资估算及资金来源、财务评价及经济效益分析等内容。

设立外商投资企业的申请经审批机关批准后，申请者应在收到批准证书之日起 30 日内，到登记主管机关申请办理设立登记。登记主管机关自受理申请人设立登记全部文件、证件之日起 30 日内，做出核准登记或不予核准登记的决定，经核准登记的，按规定收取登记费后，颁发《中华人民共和国企业法人营业执照》，并由登记主管机关发布公告。营业执照签发日期，即为外商投资企业的成立日期。外商投资企业申请设立登记时，应向登记机关提交由企业正、副董事长签署的《外商投资企业申请登记表》、《名称预先核准通知书》、项目建议书、可行性研究报告及其批准文件、合同、章程以及审批机关的批准文件及批准证书、投资者所在国家（地区）政府出具的合法开业证明、投资者的资信证明、董事会名单及董事会成员、正、副总经理的委派任职文件及上述人员的简历、身份证明、企业住所使用证明、登记机关要求提交的其他文件。